應變加速度傳感器測量的原理十分簡單并且相當可靠，其理論基礎(chǔ)為與慣性質(zhì)量有關(guān)的牛頓第二定律。
應變加速度傳感器元件的基本構(gòu)成包括主體、彈簧和慣性質(zhì)體。當傳感器主體的速度發(fā)生變化時，會產(chǎn)生隨著速度變化而變化的力，該力將通過彈簧被施加于慣性質(zhì)體上。具體來說，首先該力使彈簧發(fā)生彎曲，然后元件主體與慣性質(zhì)體的距離會與加速度成比例地發(fā)生變化。
應變加速度傳感器的工作原理會根據(jù)主體與慣性質(zhì)體相對移動的檢測方式的不同而有所差異。電容式傳感器，主體與慣性質(zhì)體是相互絕緣的，通過測量電容來檢測加速度。當主體與慣性質(zhì)體之間的距離減小時，電容就會增加，電流會向傳感器的信號處理IC流動。距離增加時，情況則會相反。傳感器可將主體的加速度轉(zhuǎn)化為電流、電荷、電壓三者之一從而進行測量。
核心技術(shù)，傳感器可通過微小的電容變化來進行相關(guān)測量，該模式特別適合被用于檢測傳感器的細微運動，且性能。加速度傳感元件是以單晶硅和玻璃為材料制成的，因此傳感器產(chǎn)品可輕松應對使用時間和溫度變化帶來的各種挑戰(zhàn)，具有出色的可靠性和穩(wěn)定性以及精度。
量程1g的傳感元件能夠承受超過50,000g標準的加速度(1g=地球引力所產(chǎn)生的重力加速度)。電容式的傳感元件不僅能夠測量正負兩個方向的加速度，還能檢測靜止加速度和振動。
應變加速度傳感器和傾斜傳感器的核心部分，是兩個位置對稱的以體型微加工技術(shù)制成的具有電容特性的加速度傳感器元件。對稱的結(jié)構(gòu)不僅減小了溫度依賴性和它軸靈敏度，還提升了線性。密封性是通過以陽極接合的方式使晶元相互接合來實現(xiàn)的。
因此，傳感元件的封裝變得更容易，可靠性也更好，同時傳感器內(nèi)阻尼氣體的使用也成為可能。
